James& James Publishers
Pressure and rf power effects on optical and electrical properties of a-SiC:H film grown in SiH4-C2H2 gas mixtures / Ambrosone, Giuseppina; Cicala, G; Coscia, Ubaldo; DE FILIPPO, F; Lettieri, S; Maddalena, Pasqualino. - 1:(2000), pp. 446-446.
Pressure and rf power effects on optical and electrical properties of a-SiC:H film grown in SiH4-C2H2 gas mixtures
AMBROSONE, GIUSEPPINA;COSCIA, UBALDO;LETTIERI S;MADDALENA, PASQUALINO
2000
Abstract
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