Carbon incorporation in silicon carbon films grown at different substrate temperatures / Coscia, Ubaldo; Ambrosone, Giuseppina; Maddalena, Pasqualino; Setaro, Antonio; Phani, A. R.; Passacantando, M.. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 515:(2007), pp. 7634-7638. [10.1016/j.tsf.2006.11.123]
Carbon incorporation in silicon carbon films grown at different substrate temperatures
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;MADDALENA, PASQUALINO;SETARO, ANTONIO;
2007
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