Laser annealing of hydrogenated amorphous silicon-carbon films / Coscia, Ubaldo; Ambrosone, Giuseppina; C., Minarini; V., Parisi; S., Schutzmann; A., Tebano; S., Restello; V., Rigato. - In: THIN SOLID FILMS. - ISSN 0040-6090. - STAMPA. - 453-454:(2004), pp. 7-12. [10.1016/j.tsf.2003.11.070]
Laser annealing of hydrogenated amorphous silicon-carbon films
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
2004
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