Influence of rf power on the properties of nanostructured silicon-carbon films deposited by PECVD / Coscia, Ubaldo; Ambrosone, Giuseppina; D. K., Basa; P., Rava; S., Ferrero; A., Virga; M., Tucci. - In: PHYSICA STATUS SOLIDI. C. - ISSN 1610-1642. - 8:(2011), pp. 823-826. [10.1002/pssc.201000299]
Influence of rf power on the properties of nanostructured silicon-carbon films deposited by PECVD
COSCIA, UBALDO;AMBROSONE, GIUSEPPINA;
2011
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