Electro-thermal analysis of MEMS microhotplates for the optimization of temperature uniformity / L., Mele; T., Rossi; Riccio, Michele; E., Iervolino; F., Santagata; Irace, Andrea; Breglio, Giovanni; J. F., Creemer; P. M., Sarro. - In: PROCEDIA ENGINEERING. - ISSN 1877-7058. - 25:(2011), pp. 387-390. [10.1016/j.proeng.2011.12.096]
Electro-thermal analysis of MEMS microhotplates for the optimization of temperature uniformity
RICCIO, MICHELE;IRACE, ANDREA;BREGLIO, GIOVANNI;
2011
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