Lifetime profile reconstruction in helium implanted silicon for planar IGBTs / Guerriero, Pierluigi; A., Sanseverino; Daliento, Santolo. - (2014), pp. 325-328. (Intervento presentato al convegno IEEE MIcroELectronics tenutosi a Belgrade, Serbia nel May 2014) [10.1109/MIEL.2014.6842155].
Lifetime profile reconstruction in helium implanted silicon for planar IGBTs
GUERRIERO, PIERLUIGI;DALIENTO, SANTOLO
2014
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