Kinetic model of SiGe selective epitaxial growth using RPCVD technique / Kolahdouz, Mohammadreza; Maresca, Luca; Ghandi, Reza; Radamson, Ali Khatibi and Henry H.. - In: ECS TRANSACTIONS. - ISSN 1938-5862. - (2010).

Kinetic model of SiGe selective epitaxial growth using RPCVD technique

Luca Maresca;
2010

2010
Kinetic model of SiGe selective epitaxial growth using RPCVD technique / Kolahdouz, Mohammadreza; Maresca, Luca; Ghandi, Reza; Radamson, Ali Khatibi and Henry H.. - In: ECS TRANSACTIONS. - ISSN 1938-5862. - (2010).
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