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Lifetime and resistivity modifications induced by helium implantation in silicon: experimental analysis with the ac profiling technique / Daliento, Santolo; Mele, L; Spirito, Paolo; Gialanella, Lucio; Limata, BENEDICTA NORMANNA. - In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. - ISSN 0021-8979. - STAMPA. - 103:2(2008), pp. 24504-24512.
Lifetime and resistivity modifications induced by helium implantation in silicon: experimental analysis with the ac profiling technique
DALIENTO, SANTOLO;SPIRITO, PAOLO;GIALANELLA, LUCIO;LIMATA, BENEDICTA NORMANNA
2008
Abstract
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