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Electrical measurement of the lattice damage induced by a-particle implantation in silicon / L., B., R., C., Daliento, S., L., G., B. N., L., L., M., Romano, M., A., S., Spirito, P.. - In: VACUUM. - ISSN 0042-207X. - STAMPA. - 78 (2-4):(2005), pp. 623-626.

Electrical measurement of the lattice damage induced by a-particle implantation in silicon

DALIENTO, SANTOLO;ROMANO, MARIO;SPIRITO, PAOLO
2005
2005
VACUUM
Electrical measurement of the lattice damage induced by a-particle implantation in silicon / L., B., R., C., Daliento, S., L., G., B. N., L., L., M., Romano, M., A., S., Spirito, P.. - In: VACUUM. - ISSN 0042-207X. - STAMPA. - 78 (2-4):(2005), pp. 623-626.
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